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名称: OLS5000 3D 测量激光显微镜

LEXT OLS5000 3D是一款激光扫描显微镜,通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量,不会损坏样品。可以方便快捷地获取影像,同时配备丰富的测量功能、包括粗糙度测量。


详细介绍

技术规格


高分辨率,精确成像

凭借对各种类型样品进行精确3D测量的能力,系统可提供用于质量保证和工艺控制的可靠数据。


卓越的横向分辨率

卓越的横向分辨率

405纳米紫色激光和专用高数值孔径物镜可以捕捉到传统光学显微镜、白光干涉仪或红色激光显微镜难以发现的精细纹理和缺陷。

红光型(658纳米:0.26微米空间)

微米紫光型(405纳米:0.12线和空间)

红光型(658纳米:0.26微米空间)

微米紫光型(405纳米:0.12线和空间)


一致的测量值

LEXT专用物镜可精确测量采用其他方式测量会发生畸变的周边区域。

一致的测量值

传统物镜

传统物镜

LEXT物镜

LEXT物镜


新开发的MEMS扫描振镜

新开发的MEMS扫描振镜

新的MEMS扫描振镜具有较低的扫描轨迹失真和较小的光学像差,可进行精确的X-Y扫描。


4K扫描技术

4K扫描技术

4K扫描技术可在X轴方向扫描4096像素,是奥林巴斯以前显微镜型号的四倍。
OLS5000显微镜可在无需进行图像校正的情况下检测几乎垂直的陡峭斜面以及极低的台阶。


捕获真实形貌

捕获真实形貌

由于传统激光显微镜采用诸如平滑消除噪声等标准图像处理技术,其有时会将精确测得的细微高度不规则测量数据连同噪声一起消除。
OLS5000显微镜采用奥林巴斯自动检测可靠数据的智能判别算法,可在不丢失细微高度不规则测量数据的情况下实现精确测量。


其他高分辨率测量技术

  • MEMS扫描PEAK算法
  • 双共焦系统
  • Sq噪声(测量噪声)保证
  • 准确性和重复性均可保证
  • 混合匹配算法
  • 混合阻尼机构
  • HDR扫描

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