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名称: 激光共焦显微镜OLS4100

LEXT OLS4100是一款激光扫描显微镜,通过非接触的方式进行样品表面三维形貌观察和测量。最高分辨率达10nm,可以方便快捷地获取影像,同时配备丰富的测量功能、包括粗糙度测量。

详细介绍

技术规格

卓越的测量


更大的样品范围

轻松检测85° 尖锐角

采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统(能最大限度发挥405 nm 激光性能),LEXT OLS4100 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。这有利于粗糙度的测量。

Razor with an Acute Angle
有尖锐角的样品(剃刀)
LEXT-Dedicated Objective Lenses
LEXT 专用物镜
Non-Exclusive Objective Lens
使用专用物镜时的最小象差

高度分辨率10 nm,轻松测量微小轮廓

(MPLAPON50XLEXT)
(MPLAPON50XLEXT) 
高度差标准 类型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm 高度测量中的检测

由于采用405 nm 的短波长激光和更高数值孔径的物镜,OLS4100 达到了0.12 μm 的平面分辨率。因此,可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的0.8 nm 的光栅读取能力和软件算法,例如奥林巴斯开创的I-Z 曲线(请参阅第23 页),OLS4100 可以分辨出10 nm 的高度差。


克服反射率的差异

Overcoming Reflectance Differences
钻石电镀工具 
物镜:MPLAPON50XLEXT

OLS4100 采用了双共焦系统,结合高灵敏度的探测器,那些具有不同反射率材料的样品,也能在OLS4100 上获得鲜明的影像。


适用于透明层

Multi-Layer Mode

Observation/Measurement of Multiple Layers of Transparent Material

多层模式
LEXT OLS4100 全新的多层模式则可以识别多层样品各层上反射光强度的峰值区域,并将各层设为焦点,这样即可实现对透明样品上表面的观察和测量,而且也可以对多层样品的各层进行分析和厚度测量。  

观察/测量透明材料的各个层
多层模式可实现对透明样品的顶部的透明层进行观察和测量。即使在玻璃基片上覆有一层透明树脂层,也可测量出各层的形状和粗糙度以及表面覆膜的厚度。


工业领域首创* 的两项性能保证

正确性和重复性


Accuracy and Repeatability

通常表示测量仪器的测量精度的,有2 个指标:"正确性",即测量值与真正值的接近程度,和"重复性",即多次测量值的偏差程度。OLS4100 是业界首次同时保证了"正确性"和"重复性"的激光扫描显微镜。


追溯体系

Traceability System

OLS4100 从物镜制造到成品全部在奥林巴斯工厂内完成,并按照一系列严格的标准进行全面的检验并确保产品的质量后方才出厂 。交付产品时,由选拔出来的技术人员,在实际使用环境中执行校正和最后的调整。


更多的测量类型

高度测量

Step Measurement

可以测量轮廓截面上任意两点之间的高低差异。 
轮廓测量也同样可用

表面粗糙度测量

Surface Roughness Measurement

可以测量线粗糙度,以及平面整体的面粗糙度。

面积/体积测量

Area/Volume Measurement

根据设置在轮廓截面上的任意阈值,可以测量其上部或下部的体积。

粒子测量 (选购件)

Particle Measurement1

可以通过分离功能使粒子自动分离,设置阈值,根据ROI 设置检测范围。

几何测量

Geometric Measurement1

可以测量影像上任意两点之间的距离。还可以测量任意区域的面积。

膜厚测量 (选购件)

Film Thickness Measurement*

可以根据测出的对焦位置,测量透明介质的膜厚。

自动寻边测量 (选购件)

Auto Edge Detection/ Measurement*

可以自动寻边,测量线宽和圆,减少人为的测量误差。

工作流程解决方案,实现了优秀的图像分析性能
对于粒子尺寸分析或非金属夹杂物级别的测量,可以使用OLYMPUS Stream 显微图像软件,该软件可以从OLS4100 直接上传。



更精准的粗糙度测量

LEXT OLS4100 参数

作为表面粗糙度测量的新标准,奥林巴斯开发了LEXT OLS4100。对LEXT OLS4100 进行了与接触式表面粗糙度测量仪同样的校正,并在LEXT OLS4100 上配置了几乎所有必要的粗糙度参数和滤镜。这样,对于使用接触式表面粗糙度测量仪的用户来说,能得到操作性和互换性良好的输出结果。另外,还搭载了粗糙度专用模式,可以用自动拼接功能测量样品表面直线距离最长为100 mm 的粗糙度。 OLS4100 具有与接触式表面粗糙度测量仪相同的表面轮廓参数,因此具有相互兼容的操作性和测量结果。

截面曲线 Pp, Pv, Pz, Pc, Pt, Pa, Pq, Psk, Pku, Psm, PΔq, Pmr(c), Pδc, Pmr
粗糙度曲线 Rp, Rv, Rz, Rc, Rt, Ra, Rq, Rsk, Rku, Rsm, RΔq, Rmr(c),Rδc, Rmr, RZJIS, Ra75
波动曲线 Wp, Wv, Wz, Wc, Wt, Wa, Wq, Wsk, Wku, Wsm, WΔq, Wmr(c), Wδc, Wmr
负荷曲线 Rk, Rpk, Rvk, Mr1, Mr2
基本图形 R, Rx, AR, W, Wx, AW, Wte
粗糙度 (JIS1994) Ra(JIS1994), Ry, Rz(JIS1994), Sm, S, tp
其他 R3z, P3z, PeakCount

适应下一代参数
OLS4100 具有符合ISO25178 的粗糙度(3D)参数。通过评估平面区域,可以进行高可靠性的分析。

振幅参数 Sq, Ssk, Sku, Sp, Sv, Sz, Sa
功能参数 Smr(c), Sdc(mr), Sk, Spk, Svk, SMr1, SMr2, Sxp
体积参数 Vv(p), Vvv, Vvc, Vm(p), Vmp, Vmc
横向参数 Sal, Str

• LEXT OLS4100 与表面粗糙度测量仪的结果相兼容。 
surface roughness gauge


微细粗糙度

Micro Roughness1
Micro Roughness2

使用接触式表面粗糙度测量仪,无法测量比探针的针尖直径更细微的表面轮廓。而OLS4100 有着微小的激光光斑直径,所以能够对微细形状进行高分辨率的粗糙度测量。


非接触式测量

使用接触式表面粗糙度测量仪测量柔软的样品时,样品容易受到探针损伤而变形。另外,带有粘性的样品会粘在探针上,无法得到正确的测量结果。而非接触式的激光显微镜OLS4100,不会影响样品的表面状态,可以准确的测量样品 
的表面粗糙度。
Soft Specimen
柔软的样品
Adhesive Specimen
带有粘性的样品

Polymer Film 3D image
高分子薄膜3D 影像(上)和粗糙度测量结果(左)

Results of Roughness Measurement


 微米级特征的测量

Bonding Wires
焊线
Measurement of Features at the Micron Level

使用接触式表面粗糙度测量仪,其探针无法进入微米级的区域,所以不能对这些区域的特征进行测量。而OLS4100 可以正确定位,能轻松测量出特定微小区域的粗糙度。


高画质影像


清晰鲜明的3D 彩色影像

三种类型的综合影像

LEXT OLS4100 可以同时获取三种不同类型的影像信息:真彩3D 影像、激光全焦点3D 影像和高度信息影像。

再现自然色

Real-Color 3D Image
真彩3D 影像
Confocal 3D Laser Image
激光全焦点3D 影像
Height Information
高度信息影像

2D Color Image (Inkjet Dots on Paper, Objective Lens 20x)
2D 彩色影像(纸张上的墨点、物镜20x)
3D Color Image (Inkjet Dots on Paper, Objective Lens 20x)
3D 彩色影像(纸张上的墨点、物镜20x)

OLS4100 采用了白色的LED 光源和高色彩保真度的CCD 照相装置以生成清晰、色彩自然的影像,所得影像可以与高级的光学显微镜相媲美。