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名称: 扫描探针显微镜OLS4500

LEXT OLS4500是一款集成了激光显微镜和探针扫描显微镜功能于一体的新型纳米检测显微镜,可以实现从50倍到最高100万倍的超大范围的观察和测量。

详细介绍

技术规格

OLS4500为您带来最新的解决方案


实现纳米级观测的新型显微镜。不会丢失锁定的目标。

Never loses the target once it has been captured.
电动物镜转换器切换倍率和观察方法

配有涵盖了低倍观察到高倍观察的4种物镜,并在电动物镜转换器上装配了SPM单元。可以无缝切换倍率和观察方法,不会丢失观察对象。此外,该款显微镜可以进行纳米级观测。


涵盖了低倍到高倍观察,并配有多种观察方法可以迅速发现观察对象。

可以完成低倍到高倍的大范围倍率观察。不仅如此,先进光学技术打造的光学显微镜带来多种观察方法,可以容易的发现观察对象。此外,对于光学显微镜难以找到的观察对象,还可以使用激光显微镜进行观察。在激光微分干涉(DIC) 
观察中,可以进行纳米级微小凹凸的实时观察。

Brightfield Observation
明视场观察(IC元件)
DIC Observation
微分干涉(DIC)观
Laser DIC Observation
激光微分干涉(DIC)观察

缩短从放置样品到获取影像的工作时间。

放置好样品后,所有的操作都在1台装置上完成。可以迅速,正确的把观察对象移到SPM显微镜下面,所以只要扫描1次就能获取所需的SPM影像。

Reduces the work time from sample placement to image acquisition.


一体机的机型,所以无需重新放置样品只要在1台装置上切换倍率、观察方法就能够灵活应对新样品。 

Integrated design makes it possible to use a single microscope simply by switching the magnification and observation method, without having to remove and replace the sample on another microscope

OLS4500是把光学显微镜、激光显微镜、探针显微镜融于一体的一体机,所以无需重新放置样品,即可自由切换3种显微镜进行观察和评价。这3种显微镜各自持有优异的性能,所以能够高效输出最佳结果。


OLS4500实现了无缝观察和测量


【发现】可以迅速发现观察对象

使用光学显微镜的多种观察方法, 迅速找到观察对象

OLS4500采用了白色LED光源, 可以观察到颜色逼真的高分辨率彩色影像。它装有4种物镜, 涵盖了低倍到高倍的大范围观察。OLS4500充分发挥了光学观察的特长, 除了最常使用的明视场观察(BF)以外, 还可以使用对微小的凹凸添加明暗对比, 达到视觉立体效果的微分干涉观察(DIC), 以及用颜色表现样品偏光性的简易偏振光观察。此外, OLS4500上还配有HDR功能(高动态范围功能), 该功能使用不同的曝光时间拍摄多张影像后进行合成, 来显示亮度平衡更好、强调了纹理的影像。在OLS4500上您可以使用多种观察方法迅速找到观察对象。

BF Brightfield
BF 明视场
最常使用的观察方法。在观察中真实再现样品的 
颜色。适用于观察有明暗对比的样品。
DIC
DIC 微分干涉
对于在明视场观察中看不到的样品的微小高低差, 
添加明暗对比使之变为立体可视。适用于观察金 
相组织、硬盘和晶圆抛光表面之类镜面上的伤痕 
或异物等。
Simplified Polarized Light
简易偏振光
照射偏振光(有着特定振动方向的光线), 使样 
品的偏光性变为肉眼可视。适用于观察金相组织、矿物、半导体材料等。
HDR
HDR 高动态范围
使用不同曝光时间拍摄多张影像并进行影像合成, 
可以观察平衡度较好的明亮部分和阴暗部分。此 
外,还可以强调纹理(表面状态),进行更精细的 
观察。

使用激光显微镜,可以观察到光学显微镜中难以观察到的样品影像

OLS4500采用了短波长405 nm的激光光源和高N.A.的专用物镜, 实现了优异的平面分辨率。能以鲜明的影像呈现出光学显微镜中无法看到的观察对象。在激光微分干涉(DIC)模式中还可以实时观察纳米级的微小凹凸。

laser_dic_observation1
明视场观察(玻璃板上的异物)
laser_dic_observation2
激光微分干涉观察

【接近】迅速发现观察对象,在SPM上正确完成观察

实现了无缝观察,不会丢失观察对象

OLS4500在电动物镜转换器上装配了涵盖低倍到高倍观察的4种物镜, 以及小型SPM单元。在光学显微镜或激光显微镜的50倍、100倍的实时观察中, 由于SPM扫描范围一直显示于视场中心, 所以把观察目标点对准该位置后, 只要切换到探针显微镜, 就能够正确接近观察对象。因此, 只需1次SPM扫描就能获取目标影像, 从而能够提高工作效率并降低微悬臂的损耗。

Seamless-Magnification Observation Keeping the Object within a Field of View


不会在SPM观察中迷失的、可切换式向导功能

workflow of SPM

使用探针显微镜开始观察之前, 可以在向导画面上设置所需的条件, 如安装微悬臂、扫描范围等。所以经验较少的操作者也能安心完成操作。


【纳米级测量简单操作,可以迅速获得测量结果

新开发的小型SPM测头, 减少了影像瑕疵

Newly Developed SPM Head with Reduced Noise
新开发的小型SPM测头

OLS4500采用了装在电动物镜转换器上的物镜型SPM测头。同轴、共焦配置了物镜和微悬臂前端,所以切换SPM观察时不会丢失观察目标点。不仅如此,新开发的小型SPM测头提高了刚性,所以与传统产品相比,减少了影像瑕疵并提高了可追踪性。


使用向导功能,自由放大SPM影像

使用向导功能, 可以观察时进一步放大探针显微镜拍到的影像的所需部分倍率。只要在影像上用鼠标指针设置放大范围并扫描, 就可以获取所需的SPM影像。可以自由设置扫描范围, 所以大幅度提高了观察和测量的效率。

Navigator to Magnify the Region as Requested
向导功能在10μm×10μm影像上放大3.5μm×3.5μm范围


优异的分析功能, 应对各种测量目的

Analyses to Meet Different Requirements
曲率测量(硬盘的伤痕)

OLS4500能够根据您的测量目的分析在各种测量模式中获取的影像,并以CSV格式输出测量结果。OLS4500有以下分析功能。

  • 截面形状分析(曲率测量、夹角测量)
  • 粗糙度分析
  • 形态分析(面积、表面积、体积、高度、柱状值、承载比)
  • 评价高度测量(指定线、指定面积)
  • 粒子分析(选项功能)

跟从向导画面的指示, 可轻松操作的6种SPM测量模式


接触模式

控制微悬臂与样品之间作用的排斥力为恒定的同时, 使微悬臂进行静态扫描, 在影像中呈现样品的高度。还可以进行弯曲测量。

Contact mode 1
Contact mode 2
金属薄膜

动态模式

使微悬臂在共振频率附近振动, 并控制Z方向的距离使振幅恒定, 从而在影像中呈现样品高度。特别适用于高分子化合物之类表面柔软的样品及有粘性的样品。

Dynamic mode 1
Dynamic mode 2
铝合金表面

相位模式

在动态模式的扫描中, 检测出微悬臂振动的相位延迟。可以在影像中呈现样品表面的物性差。

Phase mode 1
Polymer Film
高分子薄膜

电流模式

对样品施加偏置电压,检测出微悬臂与样品之间的电流并输出影像。此外,还可以进行I/V测量。

Current mode 1
Current mode 2
Current mode2
Si电路板上的SiO2图案样品。高度影像(左)中显示为黄色的部分是SiO2。在电流影像(右)中显示 为蓝色(电流不经过的部分)。通过上图,可以明确电路板中也存在电流不经过的部分。

表面电位模式(KFM)

使用导电性微悬臂并施加交流电压, 检测出微悬臂与样品表面之间作用的静电, 从而在影像中呈现样品表面的电位。也称作KFM(Kelvin Force Microscope)。

Surface Potential mode1
Surface Potential mode2
磁带样品。在电位影像中可以看出数百mV的电位差分布于磁带表面。这些电位差的分布,可以认为 
是磁带表面的润滑膜分布不均匀。

磁力模式(MFM)

在相位模式中使用磁化后的微悬臂进行扫描, 检测出振动的微悬臂的相位延迟, 从而在影像中呈现样品表面的磁力信息。也称作MFM(Magnetic Force Microscope)。

Magnetic Force mode1
Magnetic Force mode2
硬盘表面样品。可以观察到磁力信息。

装配了激光扫描显微镜,灵活应对多种样品


轻松检测85°尖锐角

采用了有着高N.A. 的专用物镜和专用光学系统(能最大限度发挥405 nm 激光性能),LEXT OLS4500 可以精确地测量一直以来无法测量的有尖锐角的样品。

LEXT-Dedicated Objective Lenses
LEXT 专用物镜
Razor with an Acute Angle
有尖锐角的样品(剃刀)

高度分辨率10 nm,轻松测量微小轮廓

由于采用405 nm的短波长激光和更高数值孔径的物镜, OLS4500达到了0.12 μm的平面分辨率。因此, 可以对样品的表面进行亚微米的测量。结合高精度的光栅读取能力和奥林巴斯独有的亮度检测技术, OLS4500可以分辨出亚微米到数百微米范围内的高度差。此外, 激光显微镜测量还保证了测量仪器的两大指标——“正确性”(测量值与真正值的接近程度)和“重复性”(多次测量值的偏差程度)的性能。

0.12 μm Line and Space Pattern
0.12μm行间距
MPLAPON50XLEXT
高度差标准类型B, PTB-5, Institut für Mikroelektronik, Germany, 6 nm高度测量中的检测

从大范围拼接影像中指定目标区域

高倍率影像容易使视场范围变小,而通过设置,OLS4500的拼接功能最多可以拼接625幅影像,从而能够获得高分辨率的大范围视图数据。不仅如此,还可以在该大范围视图上进行3D显示或3D测量。

high speed stiching